光谱质谱仪>安捷伦ICP-MS 7500_电感耦合等离子质谱仪
安捷伦ICP-MS 7500_电感耦合等离子质谱仪
安捷伦7500系列具有完全自动化的易于使用、灵活性、可靠性以及优良的设计,它提供了高水平的分析性能。新的7500系列可配备代八级杆反应池(ORS)技术,提供多种选择的进样附件、应用与维修服务支持,它正在带领实验室进入ICP-MS时代;
分析特性
- 可快速同时检测周期表上几乎所有元素
- 低检出限(低至ppq级)
- 分析效益/成本比
- 线性动态范围宽—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
- 谱线简单、干扰小,准确度和度好
- 需要样品量很低(ul至ml),分析速度很快(1——3分钟/样品)
- 检测模式灵活多样
- 半导体工业常用材料中超痕量污染物分析:
- 固体:Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料;高纯金属电极等
- Agilent ICP-MS可直接分析有机样品:
- Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列有机样品的ppt级痕量污染元素。
- 对其中一些样品,其他无法获到满意的结果,高功率屏蔽矩冷等离子体技术是种分析。
- 强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等
- 高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性极强的清洗剂
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